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硅单晶晶片定向仪

硅单晶晶片定向仪

  • 所属分类:半导体级硅单晶定向设备
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  • 发布时间:2023-08-28 11:04:09
  • 产品概述


DX-7A型硅单晶晶片定向仪(7AC型7AS型7AZ型)

功能:该仪器主要用于测定切割后的硅单晶晶片表面及参考面的角度,也可用于测定其它种类单晶材料的晶片。仪器配有吸气泵。可测定直径为 3-8 英寸的晶片,测定晶面为 100 、 110 、 111 、 210 等。该仪器为双工作台,可同时完成相同任务,也可分别测定晶片表面和参考面,根据用户需要配置。

技术参数:


项目

参     数

输入电源

单相交流220V,50Hz,0.3KW.

大管电压

30kV

管电流

0-5mA连续可调

接收器

盖革计数器,工作电压高为DC1050V

X射线管

乐发500铜靶,风扇冷却,阳极接地。

测定角度

乐发5002θ=-10~120°,θ=-5~60°。

综合精度

±30″(用标准石英片10ī1面测量)

小读数

1″

外形尺寸

1290(长)x772(宽)x1300(高)mm

仪器重量

300kg。


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